过氧化氢空间灭菌器通过向需要灭菌的区域扩散干雾来完成喷雾过程。当液滴的平均直径小于10微米时，喷出雾可以被称作是“干”的；小的液滴会从墙面上弹开并且不会破裂附着使表面潮湿。而所有的条件的建立都是为了满足杀孢子剂以气化的形式有效地移动到的区域，这过氧化氢空间灭菌器种形式的特性决定了它们可以移动到平时难以达到的区域。过氧化氢空间灭菌器适用于生物安全试验室、实验动物中心、制药厂GMP车间、传染病房等需要消毒的场所。过氧化氢空间灭菌器适用于生物安全试验室、实验动物中心、制药厂GMP车间、传染病房等需要消毒的场所。

　　过氧化氢空间灭菌器的灭菌流程：

　　(1)管路连接：确保过氧化氢空间灭菌器循环系统密闭、连接可靠。

　　(2)预处理：在冻干机‘在线清洁’(简称CIP)完成后，为避免汽化过氧化氢在管道和箱体表面凝结，需要对冻干机箱体表面、灭菌系统的气流管道进行温湿度控制（温度15℃～30℃，相对湿度在≤30%RH范围内）。并检查过氧化氢空间灭菌器系统是否准备就绪。

　　(3)灭菌：35%或50%的双氧水被‘闪蒸’汽化成高浓度的汽化过氧化氢并注入到待灭菌区域。过氧化氢空间灭菌器保持汽化过氧化氢足够的作用时间（视腔体大小而定）和浓度（≥700ppm）以确保微生物被完全灭活。

　　(4)通风：过氧化氢空间灭菌器导入无菌空气进行空气置换，并通过催化分解单元将汽化过氧化氢快速分解成水和氧气，zui终使冻干机箱体内的汽化过氧化氢浓度低于1ppm。